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会聚束电子衍射
作者姓名:冯国光
作者单位:中国科学院物理研究所
摘    要:引 言 会聚束电子衍射(CBED)技术是由Kossel和 Mollenstedt[1]在1939年首创.到六十年代,Goodman等[2]改装了电子显微镜,用较小的电子束斑得到了一些有意义的结果[3].样品的厚度和取向是电子衍射中两个十分关键的参数,厚度和取向的变化导致等厚条纹和等倾条纹(所谓摆动曲线).会聚束衍射最大的好处是束斑很小(<100nm),这样由厚度和取向而引起的变化可以减到最小,结果高阶劳厄带效应不但不可以忽视,而且成为十分重要的信息.在七十年代,Steeds[4]及同事很系统地研究和发展了CBED,并且把这技术应用于各种材料研究中[5].随着扫描透射电子显微…

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