|
|||||
|
|
| 高温热处理a面AlN表面形貌演变机理 | |
| 作者姓名： | 隋佳恩 贲建伟 臧行 蒋科 张山丽 郭冰亮 陈洋 石芝铭 贾玉萍 黎大兵 孙晓娟 |
| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发光学及应用国家重点实验室,吉林 长春 130033;中国科学院大学 材料科学与光电工程中心,北京 100049;北京北方华创微电子装备有限公司, 北京 100049 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金 |
| 摘 要： | 非极性a面AlN(a-AlN)能够从根本上解决极性AlN引起的量子限制斯塔克效应问题,是提升AlGaN发光器件效率的有效途径.但是,非极性AlN生长面临更大的挑战,目前难以实现低缺陷密度、高平整表面的非极性a-AlN.高温热处理是一种提高AlN质量的有效方法,但在热处理过程中,非极性a-AlN的表面形貌演变的物理机理尚... |
| 关 键 词： | a-AlN 高温热处理 表面形貌演变 结合能 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |