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异质诱导酞菁锌有机薄膜晶体管的蒸镀工艺
引用本文:董金鹏,孙强,李桂娟,苏和平,王璐,朱阳阳,王丽娟.异质诱导酞菁锌有机薄膜晶体管的蒸镀工艺[J].发光学报,2021,42(5):700-707.
作者姓名:董金鹏  孙强  李桂娟  苏和平  王璐  朱阳阳  王丽娟
作者单位:长春工业大学 化学工程学院,吉林 长春 130012;海南科技职业大学,海南 海口 571126
基金项目:吉林省大学生创新创业训练计划;吉林省科技厅科技攻关计划重点项目;吉林省教育厅项目
摘    要:通过调控对六联苯(p-6P)诱导层和酞菁锌(ZnPc)蒸镀工艺条件,研究了有机半导体小分子的结晶生长成膜与ZnPc有机薄膜晶体管(OTFT)器件电性能的关系.结果表明,p-6P在180~190℃较高的衬底生长温度和3~4 nm的生长厚度下能够形成更大的结晶畴以及对二氧化硅衬底表面更好的覆盖,有利于诱导ZnPc小分子的结...

关 键 词:p-6P  酞菁锌(ZnPc)  薄膜生长  有机薄膜晶体管(OTFT)  电性能
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