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工艺和技术 UHV相容的空心阴极电弧源的研制

引用本文：	拾灵.工艺和技术 UHV相容的空心阴极电弧源的研制[J].等离子体应用技术快报,2000(11):5-7.

作者姓名：	拾灵

摘要：
关键词：	超高真空相容空心阴极电弧源等离子体源
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