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半导体材料科学发展的历史回顾
作者姓名:
彭英才
摘 要:
半导体科学技术是20世纪中最伟大和最重要的科技成就之一。在高新技术迅速发展的今天,重温其发展历程,总结其发展规律和认识其发展特点,具有重要的现实意义。作者着重评述了近半个世纪以来,半导体科学技术在材料、物理、器件与工艺四个领域内所取得的一系列重大进展。
关 键 词:
半导体工艺 半导体材料 发展 历史
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