X射线三晶衍射及其应用 |
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引用本文: | 李超荣.X射线三晶衍射及其应用[J].物理,1994,23(1):46-50. |
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作者姓名: | 李超荣 |
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作者单位: | 中国科学院物理研究所 |
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摘 要: | X射线三晶衍射由于同时采用了单色器和分析器,因而能区分样品中由完美晶体部分对X射线的动力学衍射和由缺陷部分引起的运动学散射,还可把晶体中晶格常数的变化和晶格取向缺陷区别开,并可测定倒易点附近X射线散射强度的二维分布图。近来,X射线三晶衍射技术广泛应用于研究晶体的表面和界面精糙度、表面损伤、晶体内的微缺陷以及精确确定外延膜的结构参数等。此外,还简要地介绍了X射线三晶衍射的技术、原理和应用。
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关 键 词: | X射线衍射 三晶衍射 晶体 缺陷 |
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