| 超声喷雾热分解法制备ZnO薄膜及衬底温度对其性能的影响 |
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| 引用本文： | 黎,波,龚恒翔,孟祥杰,任维义,陈太红.超声喷雾热分解法制备ZnO薄膜及衬底温度对其性能的影响[J].人工晶体学报,2014,43(3):523-527. |
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| 作者姓名： | 黎 波 龚恒翔 孟祥杰 任维义 陈太红 |
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| 作者单位： | 西华师范大学理论物理研究所,南充637009;重庆理工大学物理实验中心,重庆400054;重庆理工大学物理实验中心,重庆,400054;西华师范大学理论物理研究所,南充,637009 |
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| 基金项目： | 四川省科技厅基金资助项目(009JY0143);西华师范大学基本科研基金资助项目(13C008) |
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| 摘 要： | 以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上制备得到了温度在350℃到450℃范围内的ZnO薄膜.用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)及紫外-可见分光光度计分析了ZnO薄膜的晶体结构、微观形貌及其光学性质,重点探究了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.分析表明:制备的ZnO薄膜为六角铅锌矿结构,衬底温度对薄膜的质量有着重要的影响;所得薄膜在400℃时结晶性能好,沿c轴择优取向生长,具有优良的均匀性和致密性;所制备的薄膜在可见光区透过率高达86;以上,在紫外光区吸收强烈.
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 超声雾化热解法 衬底温度 微观形貌 透过率 |
Influence of Substrate Temperature on the Performance of ZnO Thin Films Prepared by Ultrosonic Spray Pyrolysis Method |
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| LI Bo,GONG Heng-xiang,MENG Xiang-jie,REN Wei-yi,CHEN Tai-hong.Influence of Substrate Temperature on the Performance of ZnO Thin Films Prepared by Ultrosonic Spray Pyrolysis Method[J].Journal of Synthetic Crystals,2014,43(3):523-527. |
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| Authors: | LI Bo GONG Heng-xiang MENG Xiang-jie REN Wei-yi CHEN Tai-hong |
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