用于半导体加工的腔耦合—磁多极型ECR源的研究 |
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引用本文: | 徐茵,季天仁.用于半导体加工的腔耦合—磁多极型ECR源的研究[J].核聚变与等离子体物理,1996,16(2):50-55. |
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作者姓名: | 徐茵 季天仁 |
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摘 要: | 本实验室研制出一台谐振腔耦合-多极场位形的电子回旋共振(ECR)微波等离子体源(MEP)。采用朗谬探针和离子能量分析器,测量了MEP中Ar等离子体的放电特性。实验结果表明,MEP能在很宽的运行参数范围,高效率地产生具有较高密度、较低离子温度和空间电位的大面积均匀等离子体,特别适合于半导体加工应用研究。
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关 键 词: | 腔耦合 多极场 电子回旋共振 微波 等离子体 |
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