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| JJG高精度均匀性监测仪 | |
| 引用本文： | 陈毅功,周怡亲.JJG高精度均匀性监测仪[J].微细加工技术,1990(4):33-36. |
| 作者姓名： | 陈毅功 周怡亲 |
| 作者单位： | 机械电子工业部第48研究所 (陈毅功)，厦门华侨电子有限公司(周怡亲) |
| 摘 要： | 本文叙述了在国产离子注入机中新研制的JJG高精度均匀性监测仪。阐述了该仪器的工作原理、技术特点及性能指标。 |
| 关 键 词： | 均匀性监测仪 离子注入机 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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