Syntheses and structures of novel hafnium chloroamido mono-amidinate and mono-guanidinate as precursors for HfO2 thin film |
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| Authors: | Mohamad Eleter,L.G. Hubert-Pfalzgraf,Sté phane Daniele,Guillaume Pilet,Bernand Tinant |
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| Affiliation: | 1. Université Claude Bernard Lyon 1, Institut de Recherches sur la Catalyse et l’Environnement de LYON – UMR 5256, 2, Avenue Albert Einstein, 69626 Villeurbanne Cedex, France;2. Université Claude Bernard Lyon 1, Groupe de Cristallographie et Ingénierie Moléculaire, Laboratoire des Multimatériaux et Interfaces – UMR 5615 CNRS, Bâtiment Raulin, Avenue du 11 Novembre 1918, 69622 Villeurbanne Cedex, France;3. Unité CSTR, Département de Chimie,1, place pasteur, 1348 Louvain-la-Neuve, Belgium |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Hafnium Amidinate Guanidinate HfO2 |
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