使用低能离子注入导致的量子阱混杂方法制作可集成的分布式Bragg反射激光器 |
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引用本文: | 张靖,陆羽,赵玲娟,周帆,王宝军,王鲁峰,王圩.使用低能离子注入导致的量子阱混杂方法制作可集成的分布式Bragg反射激光器[J].半导体学报,2004,25(8). |
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作者姓名: | 张靖 陆羽 赵玲娟 周帆 王宝军 王鲁峰 王圩 |
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作者单位: | 中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
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基金项目: | 国家高技术研究发展计划(863计划),国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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摘 要: | 采用量子阱混杂的方法制作了可集成的分布式Bragg反射激光器.通过同时控制相位区和光栅区的注入电流,该激光器的波长可以准连续地调谐4.6nm.在整个调谐范围内,除了少数几个模式跳变点以外,激光器的单模特性保持良好,边模抑制比均达到了30dB以上.
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关 键 词: | 光子集成回路 分布式Bragg反射激光器 量子阱混杂 波长调谐 |
An Integratable Distributed Bragg Reflector Laser by Low-Energy Ion Implantation Induced Quantum Well Intermixing |
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Abstract: | An integratable distributed Bragg reflector laser is fabricated by low-energy ion implantation induced quantum well intermixing. A 4.6nm quasi-continuous wavelength tuning range is achieved by controlling phase current and grating current simultaneously,and side mode suppression ratio maintains over 30dB throughout the tuning range except a few mode jump points. |
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Keywords: | photonic integrated circuit distributed Bragg reflector laser quantum well intermixing wavelength tuning |
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