| 基于自会聚多光束阵列的薄膜应力传感器 |
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| 引用本文： | 林晓春,郭艳艳,胡志敏,李存志,郑亚娥,安毓英.基于自会聚多光束阵列的薄膜应力传感器[J].半导体学报,2004,25(11). |
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| 作者姓名： | 林晓春 郭艳艳 胡志敏 李存志 郑亚娥 安毓英 |
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| 作者单位： | 1. 西安电子科技大学技术物理学院,西安,710071
2. 西安电子科技大学理学院,西安,710071 |
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| 基金项目： | 陕西省自然科学基金，西安电子科技大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 介绍了一种通过分析二元光束阵列的反射光图像,利用Stoney方程解算出薄膜应力的在线测量传感器.传感器是以二维Dammann光栅和Fresnel波带板所组成的集成二元光学分束器为核心设计的.该传感器可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量,灵敏度优于2.5×106Pa,精度优于4.27%.它具有结构简单、测量速度快、适应性强、设备集成度高而且易于安装调试等特点.与计算机自动控制系统相结合,可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制.
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| 关 键 词： | 二元光学分束器 薄膜应力 现场传感器 测量精度 |
A Kind of Thin-Film Stress Sensor Based on Beam-Focusing Multi-Beam Array |
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