X光光谱仪探测效率的测定以及在定量分析中的应用 |
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引用本文: | 徐力,元洁,吴自勤,段建中.X光光谱仪探测效率的测定以及在定量分析中的应用[J].电子显微学报,1984(4). |
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作者姓名: | 徐力 元洁 吴自勤 段建中 |
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作者单位: | 中国科技大学,中国科技大学,中国科技大学,北京大学 |
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摘 要: | 本文介绍在日立X—650扫描电子显微分析仪上对X光光谱仪探测效率T的测定工作。利用探测效率作定量成份分析不仅可以减少测试工作量,而且可以解决某些难以制备的纯元素标样问题。并可逐步过渡到和X光能谱仪连机使用。一、探测效率T的曲线和回归方程根据Russ用以计算纯元素标积X光强度因子P的公式,探测效率T为: T=P·A/F·R·Q·WL 将X光光谱仪实测到的特征X光强度作为P,代入上式,即可得这条谱线的探测效率。式中的各参量计算式
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