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美国生物医学界的MEMS器件的应用和研究动向
引用本文:
黄智伟,李富英.美国生物医学界的MEMS器件的应用和研究动向[J].世界产品与技术,1996(6):15-16.
作者姓名:
黄智伟
李富英
摘 要:
本文分两部分概要地介绍了美国生物医学界应用MEMS(微电子机械系统)微传感器和MEMS微系统的研究动向。
关 键 词:
MEMS
微电子机械系统
生物医学
微传感器
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