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无触发磁过滤式真空阴极弧沉积装置的研制
引用本文:
马文强,刘平.无触发磁过滤式真空阴极弧沉积装置的研制[J].核工业西南物理研究院年报,2001(1):141-141.
作者姓名:
马文强
刘平
摘 要:
关 键 词:
无触发磁过滤式真空阴极弧沉积装置
研制
钛膜
氧化钛膜
薄膜制备
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