| 重掺杂AZO透明导电薄膜的光电特性 |
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| 引用本文： | 吕有明,曹培江,贾芳,柳文军,朱德亮,马晓翠,林传强,刘稳. 重掺杂AZO透明导电薄膜的光电特性[J]. 发光学报, 2011, 32(4): 307-312. DOI: 10.3788/fgxb20113204.0307 |
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| 作者姓名： | 吕有明 曹培江 贾芳 柳文军 朱德亮 马晓翠 林传强 刘稳 |
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| 作者单位： | 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(60976036,10604041); 深圳市产学研科技合作(08cxy-28); 深圳市科技计划项目(ZYC200903250140A); 深圳市南山区科技研发基金(南科院2009040)资助项目 |
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| 摘 要： | 以Al质量分数为2%的ZnO陶瓷靶为靶材,在氧气气氛中,采用脉冲激光沉积方法(PLD)在石英衬底表面生长了重掺杂的ZnO:Al(AZO)薄膜.通过X射线衍射仪、紫外可见分光光度计、微区拉曼光谱仪、霍尔测量仪对合成薄膜材料的晶体结构、光学、电学性质等进行了研究.结果表明:所制备的AZO薄膜呈现具有高度c轴择优取向的ZnO...
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| 关 键 词： | AZO薄膜 Burstein-Moss效应 光电特性 |
Optical and Electrical Properties of Heavy-doped AZO Transparent Conducting Thin Films |
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| LV You-ming,CAO Pei-jiang,JIA Fang,LIU Wen-jun,ZHU De-liang,MA Xiao-cui,LIN Chuan-qiang,LIU Wen. Optical and Electrical Properties of Heavy-doped AZO Transparent Conducting Thin Films[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2011, 32(4): 307-312. DOI: 10.3788/fgxb20113204.0307 |
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| Authors: | LV You-ming CAO Pei-jiang JIA Fang LIU Wen-jun ZHU De-liang MA Xiao-cui LIN Chuan-qiang LIU Wen |
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| Affiliation: | LV You-ming,CAO Pei-jiang,JIA Fang,LIU Wen-jun,ZHU De-liang,MA Xiao-cui,LIN Chuan-qiang,LIU Wen(College of Materials Science and Engineering,Shenzhen University,Shenzhen Key Laboratory of Special Functional Materials,Shenzhen 518060,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AZO thin films Burstein-Moss effect optical and electrical properties |
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