| 化学腐蚀法制备的光纤Fabry-Perot位移传感器 |
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| 引用本文： | 上官春梅,何巍,张雯,骆飞,祝连庆. 化学腐蚀法制备的光纤Fabry-Perot位移传感器[J]. 半导体光电, 2018, 39(2): 170-173. DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.02.005 |
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| 作者姓名： | 上官春梅 何巍 张雯 骆飞 祝连庆 |
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| 作者单位： | 北京信息科技大学光电信息与仪器北京市工程研究中心,北京 100192;北京信息科技大学现代测控技术教育部重点实验室,北京 100192;北京信息科技大学光电测试技术北京市重点实验室,北京 100192;北京信息科技大学光电信息与仪器北京市工程研究中心,北京 100192;北京信息科技大学现代测控技术教育部重点实验室,北京 100192;北京信息科技大学光电测试技术北京市重点实验室,北京 100192;北京信息科技大学光电信息与仪器北京市工程研究中心,北京 100192;北京信息科技大学现代测控技术教育部重点实验室,北京 100192;北京信息科技大学光电测试技术北京市重点实验室,北京 100192;北京信息科技大学光电信息与仪器北京市工程研究中心,北京 100192;北京信息科技大学现代测控技术教育部重点实验室,北京 100192;北京信息科技大学光电测试技术北京市重点实验室,北京 100192;北京信息科技大学光电信息与仪器北京市工程研究中心,北京 100192;北京信息科技大学现代测控技术教育部重点实验室,北京 100192;北京信息科技大学光电测试技术北京市重点实验室,北京 100192 |
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| 基金项目： | 教育部长江学者与创新团队发展计划项目(IRT-16R07;光电信息与仪器)，北京市科技计划项目(Z151100003615010)，北京市教委2015年度创新能力提升计划项目(TJSHG201510772016)，北京信息科技大学“勤信人才”培育计划项目(QXTCP C201702) |
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| 摘 要： | 提出了一种采用化学腐蚀方法制备光纤Fabry-Perot(F-P)位移传感器的方法。采用浓度为40%的氢氟酸溶液腐蚀处理单模光纤端面,通过电弧放电对光纤端面进行熔接,制作光纤F-P传感器,并通过改变传感腔尾纤的粗糙度对其进行优化。实验中,将制备好的F-P腔结构的尾纤端面做未切平和切平处理,得到的条纹对比度分别为16和8dB。分别对两种情况的光纤F-P传感器的位移特性进行了实验和分析,结果表明:采用化学腐蚀法制作的光纤F-P传感器对位移具有良好的灵敏度和线性拟合优度,尾纤端未切平的F-P的线性拟合优度更好,测量精确度更高,灵敏度可达到0.010 0nm/μm,线性拟合优度为0.999 3。
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| 关 键 词： | 化学腐蚀 氢氟酸 FABRY-PEROT 优化 位移传感器 |
| 收稿时间： | 2017-10-21 |
Optical Fiber Fabry-Perot Displacement Sensor Based on Chemical Etching Method |
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| SHANGGUAN Chunmei,HE Wei,ZHANG Wen,LUO Fei,ZHU Lianqing. Optical Fiber Fabry-Perot Displacement Sensor Based on Chemical Etching Method[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2018, 39(2): 170-173. DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.02.005 |
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| Authors: | SHANGGUAN Chunmei HE Wei ZHANG Wen LUO Fei ZHU Lianqing |
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| Affiliation: | (Beijing Engin. Research Center of Optoelectron. Information and Instruments;Key Lab. of Modern Measurement Control Technol. , Ministry of Education;Beijing Key Lab. of Optoelectron. Test Technol. , Beijing University of Information Science and Technol. , Beijing 100192, CHN) |
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| Abstract: | A method for the fabrication of optical fiber Fabry-Perot (F-P) sensor was proposed based on chemical etching.F-P sensors were demonstrated by corroding the single-mode fiber end with 40％ hydrofluoric acid and splicing it with arc discharge.Then the performance was optimized by changing the roughness of sensing cavity pigtail.The fringe contrast of 16 and 8 dB were obtained on the pigtail fiber end delt with flat cutting or not.Experimental result indicate that the fabricated F-P sensors own good sensitivity and linearity,reaching 0.0100 nm/μm and 0.9993,respectively. |
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| Keywords: | chemical etching hydrofluoric acid Fabry-Perot optimization displacement sensor |
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