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SiO_2光学增透膜的制备及光学性能
引用本文:孙继红.SiO_2光学增透膜的制备及光学性能[J].光学技术,2000,26(2):104-106.
作者姓名:孙继红
作者单位:中国科学院山西煤炭化学研究所煤转化国家重点实验室!山西太原030001,中国科学院山西煤炭化学研究所煤转化国家重点实验室!山西太原030001,中国科学院山西煤炭化学研究所煤转化国家重点实验室!山西太原030001,中国科学院山西煤炭化学研究所煤转化国家重点实验室!山西太原030001
基金项目:国家“8 63”416资助项目
摘    要:在碱催化体系中以正硅酸乙酯 (TEOS)为前驱体制得SiO2 溶胶 ,采用旋转镀膜法 (spin coating)制备SiO2 光学增透膜。研究了在不同制备条件下对膜层光学性质的影响 ,推算了膜层的折射率及厚度 ,并由此给出膜层孔隙率以及膜层的厚度与转速的关系

关 键 词:溶胶凝胶  TEOS  增透膜

Preparation and optical properties of SiO_2 AR coating
SUN Ji hong,ZHANG Bin,XU Yao,FAN Wen hao,WU Dong,SUN Yu han.Preparation and optical properties of SiO_2 AR coating[J].Optical Technique,2000,26(2):104-106.
Authors:SUN Ji hong  ZHANG Bin  XU Yao  FAN Wen hao  WU Dong  SUN Yu han
Abstract:SiO 2 AR coating were made by spin coating, using TEOS as precursor, Sols were obtained in NH 3·H 2O catalysis. The properties of coating have been studied based on the transmittance spectra, the relationships with refractive index and thickness of the coating are deduced and the porosity of coatings was given.
Keywords:Sol  Gel  TEOS  AR coating
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