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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
高真空磁控溅射温度对Ga2O3微观结构及光学性能的影响
作者单位:
五邑大学 应用物理与材料学院,广东 江门 529020;广东省科学院 中乌焊接研究所,广东 广州 510651;广东省科学院 中乌焊接研究所,广东 广州 510651;五邑大学 应用物理与材料学院,广东 江门 529020
基金项目:
广东省自然科学基金面上项目;广州市基础与应用基础研究项目;国家重点研发计划
摘 要:
关 键 词:
射频磁控溅射
Ga2O3
结构性能
光学性能
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