激光加热的周期热流法测量薄膜的热扩散率

本文采用激光作为期期热源。用周期热流法测量了厚度为30μm-100μm的不锈钢、钼和铜等薄膜的热扩敞率,工作温度从室温到300℃.从理论上分析了测量过程中出现的散热效应、二维效应、空气层参与效应及端部效应等,提出了修正的方法。