| 超精密磁悬浮工作台的一种低功耗磁悬浮设计 |
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| 引用本文： | 李黎川,丁玉成,卢秉恒. 超精密磁悬浮工作台的一种低功耗磁悬浮设计[J]. 微细加工技术, 2003, 0(4): 45-50,56 |
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| 作者姓名： | 李黎川 丁玉成 卢秉恒 |
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| 作者单位： | 1. 西安交通大学电气工程学院,西安,710049
2. 西安交通大学机械工程学院,西安,710049 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(59975073) |
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| 摘 要： | 超精密磁悬浮工作台的磁悬浮部分的设计，将直接影响到系统的动力学性能、空间结构以及热性能等。针对这些性能上的要求，给出了一种三磁极电磁铁及相应的磁悬浮设计，并结合常规双磁极电磁铁的情况，对性能进行了分析和比较。相比之下，该设计可使静态功耗(或发热量)降低50％，具有更合理的空间结构。只需要两个这样的电磁铁便可以实现工作台的磁悬浮(采用双磁极电磁铁则通常需要四个)。最后通过一个应用实例及实验结果，验证了该设计的正确性和有效性。
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| 关 键 词： | 磁悬浮 三磁极电磁铁 静态功耗 精密运动控制 超精密工作台 |
| 文章编号： | 1003-8213(2003)04-0045-07 |
A Low-power Magnetic Suspension Design for Magnetically-suspended Precision Tables |
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| LI Li-chuan,Ding Yu-cheng,LU Bing-heng. A Low-power Magnetic Suspension Design for Magnetically-suspended Precision Tables[J]. Microfabrication Technology, 2003, 0(4): 45-50,56 |
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| Authors: | LI Li-chuan Ding Yu-cheng LU Bing-heng |
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| Affiliation: | LI Li-chuan~1,Ding Yu-cheng~2,LU Bing-heng~2 |
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| Abstract: | In magnetically-suspended precision tables, the design of magnetic suspension is a major factor that determines the dynamics, spatial structure, and thermal performance of the system.A design of magnetic suspension that uses novel 3-pole electromagnets is given,and its performances is discussed and compared with that of the common 2-pole electromagnets.The results show that the static power consumption(or heating power)of the design is reduced at 50% and it has more reasonable space structure.Besides, only a pair of such 3-pole electromagnets are sufficient for suspension, while four 2-pole electromagnets have to be used in a standard arrangement. Finally an application example and experiment data are given to show the correctness and effectiveness of the design. |
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| Keywords: | magnetic suspension electromagnet precision table Precision motion control |
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