| 退火气压对Bi3.25La0.75Ti3O12铁电薄膜的微观结构和铁电性能的影响 |
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| 引用本文： | 李建军,于军,李佳,杨卫明,吴云翼,王耘波.退火气压对Bi3.25La0.75Ti3O12铁电薄膜的微观结构和铁电性能的影响[J].物理学报,2009,58(2). |
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| 作者姓名： | 李建军 于军 李佳 杨卫明 吴云翼 王耘波 |
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| 作者单位： | 华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重大项目 |
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| 摘 要： | 采用sol-gel法在Pt/TiO2/SiO2/p-Si(100)衬底上制备了Bi3.25La0 75Ti3O12(BLT)铁电薄膜,研究了在750 ℃时不同退火气压(Po2:10-4-3 atm)对薄膜微观结构和电学性能的影响.XRD和拉曼光谱结果表明在10-4和3 atm氧气压下退火的薄膜晶化度明显降低.同时,XRD结果反映出10-1atm氧气压下退火的薄膜具有a轴择优取向.FSEM截面形貌显示0.1 atm氧气压下退火的薄膜由与a轴取向相对应的柱状晶粒构成,1 atm氧气压下退火的薄膜为由随机取向相对应的斜杆状晶粒构成.薄膜的微观结构最终影响了其铁电性能.0.1 atm氧气压下退火的薄膜具有最大的剩余极化值(Pr=17.8 Μc/cm2和最小的矫顽场强(Ec=73.6 Kv/cm),以及良好的抗疲劳特性.
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| 关 键 词： | 铁电性能 sol-gel法 正交化度 |
Effect of annealing pressure on the structure and ferroelectric properties of Bi3.25La0.75Ti3O12 thin films |
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| Li Jian-Jun,Yu Jun,Li Jia,Yang Wei-Ming,Wu Yun-Yi,Wang Yun-Bo.Effect of annealing pressure on the structure and ferroelectric properties of Bi3.25La0.75Ti3O12 thin films[J].Acta Physica Sinica,2009,58(2). |
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| Authors: | Li Jian-Jun Yu Jun Li Jia Yang Wei-Ming Wu Yun-Yi Wang Yun-Bo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Bi325La075Ti3O12 |
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