| TFT-LCD检测中基于激光三角法的显微镜离焦快速在线检测及补偿 |
| |
| 引用本文： | 范富明,程良伦.TFT-LCD检测中基于激光三角法的显微镜离焦快速在线检测及补偿[J].中国激光,2011(2). |
| |
| 作者姓名： | 范富明 程良伦 |
| |
| 作者单位： | 广东工业大学自动化学院; |
| |
| 基金项目： | 广东省教育部产学研(2007A090302071,2009B090300242,2010A090100030)资助课题 |
| |
| 摘 要： | 光学成像检测设备的快速自动对焦是基于机器视觉快速缺陷检测的关键,为了解决检测过程中不同倍数物镜景深(0.5~91μm)跨度大以及被检测物体振动给快速对焦造成的影响等问题,提出了基于激光三角法的显微镜离焦在线检测及补偿方法。该方法利用激光三角法进行离焦量和离焦方向的快速探测,使用由行程100μm的压电陶瓷和行程25 mm直流电机构成的宏微双驱动结构协同控制完成大范围对焦任务。实验结果表明,构建的宏微结构对焦方式可以在0.4 s内实现高倍物镜±0.5μm景深至低倍物镜±91μm景深大范围的快速自动对焦,并实现被检测物体±3μm振动范围的快速自动跟随对焦。该方法满足了新一代薄膜场效应晶体管液晶显示器(TFT-LCD)工业检测装备对自动化对焦范围、速度和精度的要求,同时可应用在平板显示器(FPD)检测、线路板检测、生物医学和自动机器装配等领域。
|
| 关 键 词： | 测量 光学检测 激光三角法 宏微双驱动 自动调焦 离焦检测 |
A Fast Detection and Compensation of Microscope Defocus Method Based on Laser Triangulation Method on TFT-LCD Inspection |
| |
| Fan Fuming Cheng Lianglun.A Fast Detection and Compensation of Microscope Defocus Method Based on Laser Triangulation Method on TFT-LCD Inspection[J].Chinese Journal of Lasers,2011(2). |
| |
| Authors: | Fan Fuming Cheng Lianglun |
| |
| Institution: | Fan Fuming Cheng Lianglun(Faculty of Automation,Guangdong University of Technology,Guangzhou,Guangdong 510006,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | measurement optical inspection laser triangulation macro-micro dual-drive automatic focusing focus error detecting |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
