| 硅基铝掺杂氧化锌异质结太阳能电池的制备与性能研究 |
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| 引用本文： | 商世广,赵玲,贺永宁,杜慧敏,赵萍. 硅基铝掺杂氧化锌异质结太阳能电池的制备与性能研究[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(6): 1499-1503 |
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| 作者姓名： | 商世广 赵玲 贺永宁 杜慧敏 赵萍 |
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| 作者单位： | 西安邮电学院电子工程学院,西安,710121;西安交通大学电子与信息工程学院,西安,710049 |
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| 基金项目： | 西安应用材料创新基金，陕西省教育厅项目 |
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| 摘 要： | 本文以绒面处理的P型硅(111)为衬底,利用磁控溅射、蒸发镀膜和热氧化等技术制备Al/P(cryst-Si: H)/N(Al-Doped ZnO)/ITO结构的异质结太阳能电池,探讨ZnO薄膜的表面形貌、晶体结构以及衬底的可见光反射率等因素对其光电转化性能的影响.扫描电子显微镜分析显示,氧化锌薄膜是具有大量晶界的多孔隙结构.X 射线衍射测试表明,氧化锌薄膜为六方纤锌矿晶体结构.太阳能电池的I-V特性测试显示,在绒面处理的硅基上制备的ZnO异质结太阳能电池具有较好的光伏特性,开路电压VOC为328 mV,短路电流密度JSC 为5.83 mA/cm2,填充因子FF为0.602.
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| 关 键 词： | 太阳能电池 磁控溅射 异质结 光伏特性, |
Research on Fabrication and Properties of Al-doped Zinc Oxide Based on Silicon Heterojunction Solar Cells |
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| SHANG Shi-guang,ZHAO Ling,HE Yong-ning,DU Hui-min,ZHAO Ping. Research on Fabrication and Properties of Al-doped Zinc Oxide Based on Silicon Heterojunction Solar Cells[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2010, 39(6): 1499-1503 |
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| Authors: | SHANG Shi-guang ZHAO Ling HE Yong-ning DU Hui-min ZHAO Ping |
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