Institution: | a Laboratoire Matériaux et Micro-électronique de Provence, UMR CNRS 6137, Institut Charles Fabry, Université de Provence, IMT Technopôle de Château Gombert, 13451 Marseille cedex 20, France b ENST-Paris, Département COMELEC, URA CNRS 820, 46 Rue Barrault, 75634 Paris cedex 13, France c ST Microelectronics, ZI de Rousset BP 2, 13106 Rousset, France |