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超晶格结构X射线衍射分析及其结构参数的计算
引用本文:郑联喜,王玉田.超晶格结构X射线衍射分析及其结构参数的计算[J].发光学报,1995,16(2):153-159.
作者姓名:郑联喜  王玉田
作者单位:国家光电子工艺中心, 中国科学院半导体研究所, 北京100083
摘    要:在本文中,我们在经典的X光运动学理论的基础上,加入一些改进,不再直接计算超晶格的结构因子F00L,而是计算各原子面的散射波函数,获得了卫星峰的模拟峰形和pendell?sung条纹,克服了原来不能解释峰形和pendell?sung现象的缺点。本文还用此方法对GaAlAs/GaAs超晶格和GeSi/Si应变超晶格进行了模拟计算,与实验吻合很好,证明了理论的正确性。

关 键 词:X光运动学理论  超晶格  pendell?sung条纹  结构参数
收稿时间:1994-07-11

SUPERLATTICE STRUCTURE'S X-RAY DIFFRACTION ANALYZING AND STRUCTURE PARAMETERS'S CALCULATING
Zheng Lianxi,Wang Yutian,Zhuang Yan,Deng Lisheng,Xiao Zhibo,Hu Xiongwei, Liang Junwu.SUPERLATTICE STRUCTURE''''S X-RAY DIFFRACTION ANALYZING AND STRUCTURE PARAMETERS''''S CALCULATING[J].Chinese Journal of Luminescence,1995,16(2):153-159.
Authors:Zheng Lianxi  Wang Yutian  Zhuang Yan  Deng Lisheng  Xiao Zhibo  Hu Xiongwei  Liang Junwu
Institution:National Research Center fad Optoelectronic Thonology, Institue of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083
Abstract:n this paper,the wave functions of atomic scattering instead of structure factor of the superlattice have been calculated according to the improved kinematical theory of X-ray diffraction.The peaks shape and pendellosung fringes of the superlattice are explained using computer simulation. Structure parameters of superlattice are also obtained succesfully.
Keywords:X ray kinematical theory  superlattice  pendellosung fringes  structure parameters  
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