| InAlN在不同模板上的MOCVD外延 |
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| 引用本文： | 贠利君,魏同波,闫建昌,刘喆,王军喜,李晋闽.InAlN在不同模板上的MOCVD外延[J].半导体学报,2011,32(9):093001-5. |
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| 作者姓名： | 贠利君 魏同波 闫建昌 刘喆 王军喜 李晋闽 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所半导体照明研发设计中心,中国科学院半导体研究所半导体照明研发设计中心,中国科学院半导体研究所半导体照明研发设计中心,中国科学院半导体研究所半导体照明研发设计中心,中国科学院半导体研究所半导体照明研发设计中心,中国科学院半导体研究所半导体照明研发设计中心 |
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| 基金项目： | Project supported by the National Natural Science Foundation of China（No.60806001）; the National High Technology Research and Development Program of China（No.2011AA03A103）; the National Basic Research Program of China（No.2011CB301904） |
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| 摘 要： | 在相同的生长条件下，分别在高质量的GaN 和 AlN 模板上生长InAlN外延层。 测试结果显示：本实验的两个样品的In组分均为～16%，但在AlN模板上生长的InAlN外延层的晶体质量和表面形貌都要优于在GaN模板上生长的样品。其中，在GaN模板上生长的InAlN样品的（002）和（102）峰摇摆曲线的半峰宽分别为309.3″和339.1″，样品表面的粗糙度为0.593 nm，v坑密度约为4.2108cm-2；而在AlN模板上生长的InAlN样品的（002）和（102）峰摇摆曲线的半峰宽分别为282.3″和313.5″，样品表面的粗糙度为0.39 nm，v坑密度约为2.8108cm-2 。综合以上结果可初步得知，在AlN模板上生长的InAlN外延层的晶体质量和表面形貌都要优于在GaN模板上生长的InAlN外延层，因此，相对于GaN模板来说，AlN模板更适宜高质量的InAlN 外延层的生长。
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| 关 键 词： | 铝模板 MOCVD 外延生长 晶体质量 表面形貌 表面粗糙度 氮化镓 增长参数 |
| 收稿时间： | 4/7/2011 11:52:02 AM |
| 修稿时间： | 5/5/2011 10:00:43 AM |
MOCVD epitaxy of InAlN on different templates |
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| Yun Lijun,Wei Tongbo,Yan Jianchang,Liu Zhe,Wang Junxi and Li Jinmin.MOCVD epitaxy of InAlN on different templates[J].Chinese Journal of Semiconductors,2011,32(9):093001-5. |
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| Authors: | Yun Lijun Wei Tongbo Yan Jianchang Liu Zhe Wang Junxi and Li Jinmin |
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| Institution: | R&D Center for Semiconductor Lighting, Institute of Semiconductor, Chinese Academy of Sciences,R&D Center for Semiconductor Lighting, Institute of Semiconductor, Chinese Academy of Sciences,R&D Center for Semiconductor Lighting, Institute of Semiconductor, Chinese Academy of Sciences,R&D Center for Semiconductor Lighting, Institute of Semiconductor, Chinese Academy of Sciences,R&D Center for Semiconductor Lighting, Institute of Semiconductor, Chinese Academy of Sciences,R&D Center for Semiconductor Lighting, Institute of Semiconductor, Chinese Academy of Sciences |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | InAlN Epilayer Template Crystal quality Surface topography |
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