| 制冷机低温泵自动再生系统的研究 |
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| 引用本文： | 龙瑛,陈家富,严善仓. 制冷机低温泵自动再生系统的研究[J]. 低温与超导, 2001, 29(1): 18-21 |
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| 作者姓名： | 龙瑛 陈家富 严善仓 |
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| 作者单位： | 信息产业部第十六研究所, |
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| 摘 要： | 制冷机低温泵应用广泛 ,但连续运转时再生必不可少。文中介绍了由单片机组成的制冷机低温泵自动再生系统 ,对再生过程进行了讨论 ,再生参数可由用户设定 ,因此具有自动化程度高 ,使用灵活方便等特点 ,可得到广泛的应用。
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| 关 键 词： | 高真空 制冷机低温泵 自动再生 |
| 修稿时间： | 2000-12-08 |
Research on the Auto-regeneration System of Cryopumps |
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| Abstract: | In this paper, the action of regeneration is discussed in details, and a kind of auto-regeneration system is introduced. The system includs mainly, the Mcs-51 chip microcomputer control section and the vacuum valve section. |
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| Keywords: | High vacuum Cryopump Auto-regeneration |
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