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新型微波/毫米波传输线及其性能模拟
引用本文:虞晓峰,仲顺安,等.新型微波/毫米波传输线及其性能模拟[J].集成电路通讯,2002,20(3):15-18.
作者姓名:虞晓峰  仲顺安
摘    要:介绍了目前出现的运用MEMS技术实现的新型微波传输线结构,以及用ANSOFT HFSS的初步模拟结果。

关 键 词:微波/毫米波传输线  微型机械加工技术  MEMS  薄膜支撑微屏蔽电路  共面波导特性阻抗  传输损耗  微波集成电路
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