| 冷等离子体制备铝的氧化物膜 |
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| 引用本文： | 张勇,曹伟民.冷等离子体制备铝的氧化物膜[J].合成化学,1996,4(2):102-104. |
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| 作者姓名： | 张勇 曹伟民 |
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| 作者单位： | 中国科学院成都有机化学研究所 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金,中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室资助 |
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| 摘 要： | 冷等离子体制备铝的氧化物膜张勇，周坤，曹伟民，文晓刚（中国科学院成都有机化学研究所，成都，６１００４１）氧化铝是一种重要的无机材料，在微电子工业、机械工业及化学工业等方面有着广泛的应用前景。采用冷等离子体制备的氧化铝膜具有独特的性能：采用干法制膜，升...
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| 关 键 词： | 氧化铝膜 铝有机聚合物膜 冷等离子体 |
Preparation of Aluminum Oxide Film by Cold Plasma Method |
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| Zhang,Yong,Zhou,Kun-Lin,Cao,Wei-Min Wen,Xiao-Gang.Preparation of Aluminum Oxide Film by Cold Plasma Method[J].Chinese Journal of Synthetic Chemistry,1996,4(2):102-104. |
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| Authors: | Zhang Yong Zhou Kun-Lin Cao Wei-Min Wen Xiao-Gang |
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| Abstract: | This paper describes the process of preparing aluminum oxide film by postannealing alu-minum-containing organic polymer films obtained from cold plasma dissociation of aluminum acetylacetone,The film composition and structure have been determined by IR,XPS and TEM etc,The films after annealing are porous. |
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| Keywords: | s:Cold plasm polymerization Aluminum acetylacetone Aluminum oxide film |
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