微电铸及其在MEMS中的应用 |
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引用本文: | 吕文龙,陈义华,孙道恒.微电铸及其在MEMS中的应用[J].厦门大学学报(自然科学版),2005,44(6):316-318. |
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作者姓名: | 吕文龙 陈义华 孙道恒 |
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作者单位: | 厦门大学机电工程系,福建厦门361005 |
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摘 要: | 研究了微电铸在MEMS结构层制造工艺中的可行性并搭建了微电铸实验系统,通过对不同Watts镍电解液的成分实验得到了一组性能较好的成分配比.通过晶种层材料的实验得出Ti—Cu作为晶种层材料的优点.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等,得到了一组比较有价值的电铸参数。并对电铸中存在的问题进行了阐述,实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构.
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关 键 词: | 微电铸 应用 MEMS结构 实验系统 制造工艺 成分配比 镍电解液 脉冲电铸 设计要求 悬臂梁 结构层 陀螺仪 微机械 材料 晶种 驱动 方波 |
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