| 采用溶胶-凝胶法制备nc-Si/SiO2薄膜 |
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| 引用本文： | 王蓟,李剑,邢华,宁永强,王立军.采用溶胶-凝胶法制备nc-Si/SiO2薄膜[J].发光学报,2003,24(3):297-300. |
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| 作者姓名： | 王蓟 李剑 邢华 宁永强 王立军 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室,吉林,长春,130022
2. 吉林大学电子科学与工程学院,吉林,长春,130023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(90101017) |
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| 摘 要： | 溶胶-凝胶方法是近年发展起来的一种新型的材料制备技术，被广泛的应用于薄膜、均匀超细粉末和陶瓷涂层的制备中。本文以正硅酸乙酯(TEOS)为原料，在乙醇共溶剂和盐酸催化剂条件下，采用溶胶-凝胶方法制备含有纳米晶硅（nc-Si）的SiO2胶体溶液，通过旋涂法使溶剂迅速挥发而迅速凝胶化，经过适当温度的干燥和烧结制备了nc—Si／SiO2薄膜。探讨了胶体粘度、盐酸催化剂浓度、旋涂速度和时间对成膜质量的影响。给出了nc—S／SiO2薄膜的扫描电镜图像和表征nc-Si／SiO2薄膜组分的能谱图。
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| 关 键 词： | 溶胶－凝胶法 制备方法 nc－Si／SiO2薄膜 旋涂法 能谱图 硅基光电子集成 二氧化硅 |
| 文章编号： | 1000-7032(2003)03-0297-04 |
Preparation of nc-Si/SiO2 Film with Sol-gel Method |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Si-based OEIC sol-gel method energy spectrum |
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