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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
钼基体半径对金刚石膜残余热应力的影响
作者姓名:
杜天宇
唐达培
魏建平
作者单位:
西南交通大学力学与工程学院;
基金项目:
四川省应用基础项目(2012JY0026)
摘 要:
采用有限元方法分析了钼基体半径对金刚石膜残余应力的影响,得出了膜内径向应力、轴向应力、剪切应力分布的等值线图。结果表明:径向应力在膜内大部分区域为压应力,其最大值随着钼基体半径的增大而减小;轴向应力在金刚石膜的侧面边缘处出现了较大的拉应力,且其值随着半径的增大而增大,与此同时在侧面膜/基界面边缘处出现了明显的应力集中现象;剪切应力的最大值随着钼基体半径的增大而增大。此结论可以在金刚石膜制备过程中,对应力进行有效的控制提供一定的参考价值。
关 键 词:
金刚石膜
钼基体半径
残余热应力
膜/基界面
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