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| 内置式微型电液动力泵的研究 | |
| 引用本文： | 于翮,孙翠霞,俞坚.内置式微型电液动力泵的研究[J].工程热物理学报,2008,29(10). |
| 作者姓名： | 于翮 孙翠霞 俞坚 |
| 摘 要： | 本文介绍了一种新型电子冷却技术-微型电液动力泵的工作原理,并且运用了MEMS技术,在硅片上加工了梳状电极形式的微型电液动力泵.采用直流电压驱动对HFE7100进行了相关实验研究,取得良好效果. |
| 关 键 词： | 电子冷却 微型电液动力泵 传热 |
THE EXPERIMENTAL STUDY OF ELECTROHYDRODYNAMIC MICROPUMP |
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| YU He,SUN Cui-Xia,YU Jian.THE EXPERIMENTAL STUDY OF ELECTROHYDRODYNAMIC MICROPUMP[J].Journal of Engineering Thermophysics,2008,29(10). | |
| Authors: | YU He SUN Cui-Xia YU Jian |
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| Keywords: | |
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