半导体光电探测器件光谱响应和响应度的测试

本文对各种半导体光电探测器件的光谱响应,响应度的测试系统,原理,方法等做了较详细的介绍。其中对于直径为φ100μ光敏面积的探测器,在灵敏度测试中采用自制显微镜二次聚焦方法进行观察测量,得到了满意的结果。此外,对测试结果进行了分析,并讨论了测试误差,为完善测试方法及改进器件性能提供了有益的参考。