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| 等离子体源离子注入球形靶的蒙特-卡罗模拟 | |
| 引用本文： | 王德真,马腾才,宫野.等离子体源离子注入球形靶的蒙特-卡罗模拟[J].物理学报,1995,44(6):877-884. |
| 作者姓名： | 王德真 马腾才 宫野 |
| 作者单位： | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连116024;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连116024;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连116024 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金国家高技术研究发展计划青年基金资助的课题 |
| 摘 要： | 建立了在球形靶鞘层中离子的蒙特-卡罗模拟模型,考虑了离子与中性粒子的电荷交换碰撞和弹性散射,以及精确依赖于入射离子能量的电荷交换碰撞截面和动量输运截面。模拟了不同气压下,在鞘层扩展过程中,氮离子N_2~+到达靶表面的能量分布和入射角分布,研究了它们的变化规律。 |
| 收稿时间： | 1994-05-17 |
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