| 扫描探针显微镜在激光纳米加工技术上的应用和进展 |
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| 引用本文： | 徐世珍,程兆谷,徐至展.扫描探针显微镜在激光纳米加工技术上的应用和进展[J].激光与光电子学进展,2004,41(1):50-53. |
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| 作者姓名： | 徐世珍 程兆谷 徐至展 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 摘 要： | 综述了扫描探针显微镜在激光纳米加工技术上应用的最新进展，介绍了纳米结构的形成机理。
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| 关 键 词： | 超短脉冲激光 扫描探针显微镜 纳米加工 |
| 收稿时间： | 2003/7/7 |
Current Development of Laser Nanomachining Assisted by Scanning Probe Microscopy |
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| XU Shizhen,CHENG Zhaogu,XU Zhizhan.Current Development of Laser Nanomachining Assisted by Scanning Probe Microscopy[J].Laser & Optoelectronics Progress,2004,41(1):50-53. |
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| Authors: | XU Shizhen CHENG Zhaogu XU Zhizhan |
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| Abstract: | This paper summarized the current development of laser-assisted scanning probe microscopy in nanomachining, and the mechanisms of forming nanometer structure are introduced. |
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| Keywords: | ultra-short pulse laser scanning probe microscopy nanomachining |
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