| 制备波导光栅的相位掩膜技术 |
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| 引用本文： | 马少杰 李燕. 制备波导光栅的相位掩膜技术[J]. 发光学报, 1998, 19(1): 77-79 |
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| 作者姓名： | 马少杰 李燕 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春物理研究所，中国科学院激发态物理开放研究实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金,中国科学院激发态物理开放实验室资助 |
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| 摘 要： | 制备波导光栅的相位掩膜技术＊马少杰李燕徐迈林久令（中国科学院长春物理研究所，长春１３００２１）（中国科学院激发态物理开放研究实验室，长春１３００２１）关键词光波导，光栅耦合器，全息光栅自从７０年Ｄａｋｓｓ等人首次报道了集成光波导光栅器件以来［１］，波...
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| 关 键 词： | 光波导 光栅耦合器 全息光栅 相位掩膜 |
FABRICATING OF WAVEGUIDE GRATING BY PHASE MASK TECHNIQUE |
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| Ma Shaojie Li Yan Xu Mai Lin Jiuling. FABRICATING OF WAVEGUIDE GRATING BY PHASE MASK TECHNIQUE[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1998, 19(1): 77-79 |
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| Authors: | Ma Shaojie Li Yan Xu Mai Lin Jiuling |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | waveguide grating coupler holographic grating |
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