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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
先进栅叠层的在线光谱分析法
作者姓名:
Ibrahim Burki
Cristian Rivas
Jeff Hurst
Matt Weldon
Henry Yeung
Jimmy Price
Patrick Lysaght
P.Y.Hung
Raj Jammy
作者单位:
Metrosol Inc. Austin;Texas;Metrosol Inc.;Austin;Sematech;
摘 要:
量测平台的复杂性和光学原理上的局限性制约着测量系统的应用,直到真空紫外光谱反射仪的出现,这种状况才得到改变。
关 键 词:
光谱分析法
在线
叠层
真空紫外光谱
测量系统
光学原理
复杂性
反射仪
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