| 相位光栅非对称性对位置测量精度的影响 |
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| 引用本文： | 杨光华,王宇,李璟,丁敏侠,卢增雄. 相位光栅非对称性对位置测量精度的影响[J]. 光学学报, 2021, 41(19): 52-63. DOI: 10.3788/AOS202141.1905001 |
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| 作者姓名： | 杨光华 王宇 李璟 丁敏侠 卢增雄 |
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| 作者单位： | 中国科学院微电子研究所,北京100029;中国科学院大学,北京100049;中国科学院微电子研究所,北京100029 |
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| 摘 要： | 在相位光栅位置测量系统中,加工、后处理等工艺会导致光栅结构发生非对称性变形,增加了位置测量误差.因此,建立了非对称性光栅的衍射场理论模型,分析了光栅非对称性对位置测量精度的影响,并根据不同衍射级次对非对称性敏感度的差异提出了一种多衍射级次权重优化方法,以修正光栅非对称性变形引入的测量误差.实验结果表明,当光栅中心槽深为入射波长的1/4时,顶部倾斜非对称性和底部倾斜非对称性对测量精度的影响可以忽略;当占空比为0.5时,侧壁非对称性对测量精度的影响可以忽略.非对称性引入的位置误差,经多衍射级次权重优化法修正后可控制在0.05 nm以内.
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| 关 键 词： | 光栅 非对称性 测量精度 位置测量系统 |
Effect of Phase Grating Asymmetry on Position Measurement Accuracy |
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| Yang Guanghua,Wang Yu,Li Jing,Ding Minxia,Lu Zengxiong. Effect of Phase Grating Asymmetry on Position Measurement Accuracy[J]. Acta Optica Sinica, 2021, 41(19): 52-63. DOI: 10.3788/AOS202141.1905001 |
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| Authors: | Yang Guanghua Wang Yu Li Jing Ding Minxia Lu Zengxiong |
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