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光致酸发生剂——对甲基苯磺酸三苯基硫盐的合成
引用本文:李萍,李平,刘建国.光致酸发生剂——对甲基苯磺酸三苯基硫盐的合成[J].影像科学与光化学,2006,24(6):450-453.
作者姓名:李萍  李平  刘建国
作者单位:华中科技大学, 化学系, 湖北, 武汉, 430074
摘    要:以二苯亚砜为起始反应物,通过改进反应溶剂,首先合成了溴化三苯基硫盐,大大缩短了反应时间,提高了该盐的反应收率.再运用银盐置换法,合成了光致酸发生剂——对甲基苯磺酸三苯基硫盐,并对其进行了红外和核磁共振表征.

关 键 词:光致抗蚀剂  光致酸发生剂  对甲基苯磺酸三苯基硫盐  
收稿时间:2006-05-22
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