| 微型MEMS致冷器的研究新动向 |
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| 引用本文： | 刘少波,李艳秋,刘梅冬,曾亦可.微型MEMS致冷器的研究新动向[J].压电与声光,2005,27(1):30-33. |
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| 作者姓名： | 刘少波 李艳秋 刘梅冬 曾亦可 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院,电工研究所微纳加工部,北京,100080
2. 华中科技大学,电子系,湖北,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家"八六三"计划基金资助项目(2003AA404150);中科院"引进国外杰出人才基金"2001年基金资助项目 |
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| 摘 要： | 微机电系统(MEMS)与超大规模集成电路(ULIC)进一步微型化与集成化,急需微型冷却系统对其芯片等进行局部冷却。因此,基于硅微机械加工工艺的微型致冷器被提上研究日程,并有望发展成为无压缩机、无机械部件的新型致冷器。着重介绍了微型MEMS致冷器的国内外研究动向与发展趋势,阐述并分析了几种典型致冷材料与器件的工作原理、技术可行性及应用研究前景。
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| 关 键 词： | 微型MEMS致冷器 pn结热电薄膜 铁电薄膜 电生热效应 塞贝克效应 |
| 文章编号： | 1004-2474(2005)01-0030-04 |
| 修稿时间： | 2003年5月19日 |
Recent Research Progresses of Micro-MEMS Cryogenic Refrigeratory |
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| LIU Shao-bo,LI Yan-qiu,LIU Mei-dong,ZENG Yi-ke.Recent Research Progresses of Micro-MEMS Cryogenic Refrigeratory[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2005,27(1):30-33. |
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| Authors: | LIU Shao-bo LI Yan-qiu LIU Mei-dong ZENG Yi-ke |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-MEMS cryogenic refrigeratory thermoelectric thin film ferroelectric thick film electrocaloric ef |
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