| 用准分子激光诱导湿刻实现对GaAs的图形转换 |
| |
| 引用本文： | 张玉书,丁涛,任临福.用准分子激光诱导湿刻实现对GaAs的图形转换[J].中国激光,1992,19(9):663-667. |
| |
| 作者姓名： | 张玉书 丁涛 任临福 |
| |
| 作者单位： | 吉林大学电子科学系，吉林大学电子科学系，吉林大学电子科学系 长春 130023，长春 130023，长春 130023 |
| |
| 摘 要： | 本文报告的是利用准分子激光诱导湿刻和光刻技术相结合的方法,实现了对GaAs的图形转换。发现由GaAs表面的金膜、水溶液和GaAs构成的系统中,金膜不仅起了光掩蔽的作用,而且还起了促进刻蚀作用。结果说明这是一个电化学光电池结构。
|
| 关 键 词： | 电化学光电池 诱导湿刻 |
| 收稿时间： | 1990/11/7 |
Transferring image to GaAs in excimer laser induced aqueous etching |
| |
| Zhang Yushu,Ding Tao,Ren Lirtfu.Transferring image to GaAs in excimer laser induced aqueous etching[J].Chinese Journal of Lasers,1992,19(9):663-667. |
| |
| Authors: | Zhang Yushu Ding Tao Ren Lirtfu |
| |
| Abstract: | This paper reports a technique combinaing the eseimer laser induced aqueoug etching and the photolithography to realize image transfer. In the system consisting of gold film, aqua and G-aAs, the gold film not only acts as photomask, but also gives an impulse to etching. Our results suggest that the system is an electro-chemical photocell. |
| |
| Keywords: | electro-chemical photocell induced aqueous etching |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
