| 紫外可见吸收光谱仪与椭偏测厚仪联用测量透明光电子薄膜的厚度 |
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| 引用本文： | 唐振方,叶勤,吴奎,彭舒.紫外可见吸收光谱仪与椭偏测厚仪联用测量透明光电子薄膜的厚度[J].物理实验,2006,26(2):11-14. |
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| 作者姓名： | 唐振方 叶勤 吴奎 彭舒 |
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| 作者单位： | 暨南大学,物理系,广东,广州,510632 |
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| 基金项目： | 广州市科技计划项目(No.2003Z3-D2011) |
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| 摘 要： | 采用椭偏测厚仪测量薄膜的折射率,用来修正紫外可见吸收光谱仪极值法测量膜厚的数据.通过制备掺铝氧化锌(ZAO)薄膜及SEM断口观察进行实验验证,证实该修正方法有助于提高膜厚测量精度.联用这2种常规仪器,可以方便地获得0~20μm宽范围的透明光电子薄膜的厚度,数据采集与处理简单快捷,可满足大部分薄膜工艺研究和生产的需要.
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| 关 键 词： | 厚度测量 透明光电子薄膜 吸收光谱仪 椭偏测厚仪 |
| 文章编号： | 1005-4642（2006）02-0011-04 |
| 收稿时间： | 2005-07-20 |
| 修稿时间： | 2005-11-14 |
Thickness measurement of transparent optoelectronic films with combination of spectrometer and ellipsometer |
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| TANG Zhen-fang,YE Qin,WU Kui,PENG Shu.Thickness measurement of transparent optoelectronic films with combination of spectrometer and ellipsometer[J].Physics Experimentation,2006,26(2):11-14. |
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| Authors: | TANG Zhen-fang YE Qin WU Kui PENG Shu |
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| Institution: | Department of Physics, Jinan University, Guangzhou 510632, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | thickness measurement optoelectronic films UV spectrometer ellipsometer |
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