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| InGaAs／InAlAs／InP异质结构场效应晶体管的选择湿法腐蚀 | |
| 引用本文： | Tong,M 梁玉英.InGaAs／InAlAs／InP异质结构场效应晶体管的选择湿法腐蚀[J].半导体情报,1995,32(2):47-50. |
| 作者姓名： | Tong M 梁玉英 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 异质结 场效应晶体管 HFET 腐蚀 铟 镓 砷 铝 磷 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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