首页
|
本学科首页
官方微博
|
高级检索
全部专业
化学
晶体学
力学
数学
物理学
学报及综合类
按
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目英文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
检索
STEPPER通用测试掩模的设计及使用
引用本文:
刘文辉.STEPPER通用测试掩模的设计及使用[J].半导体情报,1995,32(3):34-39.
作者姓名:
刘文辉
摘 要:
介绍了一种STEPPER通用测试掩模(UTM)的设计构成及各测试元素图形的作用。在此基础上,分析了电子束制作UTM的误差,并阐述了UTM的测试方法、数据处理及其对STEPPER性能的影响。
关 键 词:
测试
掩模
STEPPER
测试掩模
设计
本文献已被
维普
等数据库收录!
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号