nm级制造用三维微定位的扫描探针显微镜 |
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引用本文: | 张鸿海,李文菊,师汉民,陈日曜.nm级制造用三维微定位的扫描探针显微镜[J].华中科技大学学报(自然科学版),1996(4). |
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作者姓名: | 张鸿海 李文菊 师汉民 陈日曜 |
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摘 要: | 介绍一种用于nm级制造具有xyz三维微定位能力的扫描探针显微镜(SPM).采用电磁足周期性地夹紧与松开,结合压电陶管的轴向伸缩变形的微位移爬行器构成三维微定位机构.扫描范围可达20μm×20μm,且探针可在样品表面x和y方向上10mm×10mm范围内实行nm级的定位.探针在z方向接近样品表面也可自动进行.给出了微定位器的运动分辨率、速度与工作频率,以及在扫描道显微(STM)方法下测得的高定向石墨表面原子图像
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关 键 词: | nm级制造 大工作范围 三维微定位 扫描探针显微技术 |
A Scanning Probe Microscope with Three Dimensional Micropositioning for Nanofabrication |
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Abstract: | |
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Keywords: | nanofabrication wide working range 3 D micropositioning scanning probe microscopy |
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