| 一种热量补偿结构在多晶硅定向凝固设备中的应用研究 |
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| 引用本文： | 朱徐立,洪永强.一种热量补偿结构在多晶硅定向凝固设备中的应用研究[J].人工晶体学报,2014,43(7):1626-1634. |
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| 作者姓名： | 朱徐立 洪永强 |
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| 作者单位： | 厦门大学机电系,厦门,361005 |
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| 基金项目： | 福建省高校产学合作科技重大项目(2012H6023) |
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| 摘 要： | 定向凝固(DS)是冶金法提纯太阳能级多晶硅的重要工艺环节.以保证垂直的晶体生长方向,维持良好的固液相界面形态为目的,设计了一种带有热量补偿结构的多晶硅定向凝固设备,用以替代常规设备的侧壁加热装置,在满足工艺要求的同时达到节能减排、降低成本的目标.进行理论分析和数值模拟来阐述原理与设计结构,对优化凝固工艺、设备结构、控制方法提供了理论依据与技术支持.
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| 关 键 词： | 多晶硅 定向凝固 固液相界面 热量补偿 数值模拟 |
Study on Application of Heat Compensation Structure in Polycrystalline Silicon Directional Solidification Equipment |
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| ZHU Xu-li,HONG Yong-qiang.Study on Application of Heat Compensation Structure in Polycrystalline Silicon Directional Solidification Equipment[J].Journal of Synthetic Crystals,2014,43(7):1626-1634. |
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| Authors: | ZHU Xu-li HONG Yong-qiang |
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