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溶胶-凝胶法制备Ag掺杂的ZnO薄膜及其结构和光学性能的研究
引用本文:年洪恩,申月,任秀峰,李翔,海春喜,云强.溶胶-凝胶法制备Ag掺杂的ZnO薄膜及其结构和光学性能的研究[J].人工晶体学报,2014,43(7):1640-1644.
作者姓名:年洪恩  申月  任秀峰  李翔  海春喜  云强
作者单位:中国科学院青海盐湖研究所,盐湖资源与化学重点实验室,西宁810008;中国科学院大学,北京100049;中国科学院青海盐湖研究所,盐湖资源与化学重点实验室,西宁810008
基金项目:Qinghai International Cooperation Project(2012-H-813);The Chinese Academy of Sciences"Western light"Talent Cultivation Plan"Joint Scholars"
摘    要:溶胶-凝胶法制备了Ag掺杂的ZnO薄膜(AZO).采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、UV-VIS分光光度计、光致发光检测研究了掺杂浓度和退火温度对AZO薄膜光学和结构的影响.AZO薄膜呈(002)择优生 长的纤维锌矿六角形结构的多晶相.0.5;和1; Ag掺杂的薄膜在可见光波长区域光学透过率在70;~ 80;之间,随着Ag掺杂浓度的升高平均透过率有所降低.5; Ag掺杂的ZnO薄膜经空气中700℃退火后出现两条发射光谱带,经He气氛中退火后UV发射光谱显著增强,并且可见光发射光谱随之消失.

关 键 词:ZnO薄膜  退火温度  溶胶-凝胶法  Ag掺杂  透过率  

Structural and Optical Properties of Silver Doped Zinc Oxide Thin Films Prepared by Sol-Gel Method
NIAN Hong-en,SHEN Yue,REN Xiu-feng,LI Xiang,HAI Chun-xi,YUN Qiang.Structural and Optical Properties of Silver Doped Zinc Oxide Thin Films Prepared by Sol-Gel Method[J].Journal of Synthetic Crystals,2014,43(7):1640-1644.
Authors:NIAN Hong-en  SHEN Yue  REN Xiu-feng  LI Xiang  HAI Chun-xi  YUN Qiang
Abstract:
Keywords:
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