| ZnO单晶的生长表面形貌及形成机制研究 |
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| 作者姓名： | 王茂州 曾体贤 胡永琴 彭丽萍 王雪敏 吴卫东 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900;西华师范大学物理与电子信息学院,南充637009;中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳,621900 |
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| 基金项目： | 中国博士后科学基金(2013M542294);四川省科技厅应用基础项目(2014JY0133) |
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| 摘 要： | 采用石墨辅助化学气相传输法生长了ZnO单晶体.利用XRD、金相显微镜和扫描电镜等对晶体结构和表面形貌进行研究,发现其表面由大量六边形台阶堆垛而成,单个晶粒呈六方伞状结构并始终显露(001)面.同一平面内台阶的大小、陡峭程度存在差异,台阶之间为平行走向.通过形成机制分析,获得生长体系的过饱和度σv约为7;,发现生长表面的腐蚀形貌为六边形平底蚀坑,确定在化学气相法中ZnO单晶呈台阶生长的主要条件是螺旋位错.
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| 关 键 词： | 氧化锌单晶 化学气相法 表面形貌 生长机制, |
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